Cienka warstwa Al0.9Sc0.1N osiąga po wygrzewaniu współczynnik piezoelektryczny 15,0 pC/N i sprzężenie 34,9%. ⚗ 🛠
Wieloskalowe projektowanie sieci w azotku glinu ze skandem obejmuje szybkie wyżarzanie, które zmniejsza stosunek c/a i homogenizuje ułożenie nanodomen. Za efektem stoi wzrost jonowości wiązań. Na przemysłowym 6-calowym waflu powstał chip MEMS o częstotliwości rezonansowej 368,2 kHz. Czułość akustyczna sięga −162,4 dB przy 10 Hz, a układ pozostaje stabilny do 150 °C.
To skalowalna metoda dla bezołowiowych
Wieloskalowe projektowanie sieci w azotku glinu ze skandem obejmuje szybkie wyżarzanie, które zmniejsza stosunek c/a i homogenizuje ułożenie nanodomen. Za efektem stoi wzrost jonowości wiązań. Na przemysłowym 6-calowym waflu powstał chip MEMS o częstotliwości rezonansowej 368,2 kHz. Czułość akustyczna sięga −162,4 dB przy 10 Hz, a układ pozostaje stabilny do 150 °C.
To skalowalna metoda dla bezołowiowych











Nie wiem czy lepsza, na pewno większy obrazek.
Nazwy to chyba nie ma, coś z cyklu "computer reaction face".