Cienka warstwa Al0.9Sc0.1N osiąga po wygrzewaniu współczynnik piezoelektryczny 15,0 pC/N i sprzężenie 34,9%. ⚗️🛠️

Wieloskalowe projektowanie sieci w azotku glinu ze skandem obejmuje szybkie wyżarzanie, które zmniejsza stosunek c/a i homogenizuje ułożenie nanodomen. Za efektem stoi wzrost jonowości wiązań. Na przemysłowym 6-calowym waflu powstał chip MEMS o częstotliwości rezonansowej 368,2 kHz. Czułość akustyczna sięga −162,4 dB przy 10 Hz, a układ pozostaje stabilny do 150 °C.

To skalowalna metoda dla bezołowiowych czujników MEMS
uzior - Cienka warstwa Al0.9Sc0.1N osiąga po wygrzewaniu współczynnik piezoelektryczn...

źródło: card

Pobierz
  • Odpowiedz
  • Otrzymuj powiadomienia
    o nowych komentarzach

@Xivid: hehe przez ciebie nie wyjde na blyskotliwego smieszka i nie zarucham, jak nie bedzie cie stac na oplacenie czynszu w piwnicy ze wzgledu na niedobor rynku spowodowany nadmiarem przegrywu, to wtedy nie miej do mnie pretensji ( ͡° ͜ʖ ͡°)
  • Odpowiedz